1．提出设立申请。可以是投资人直接提出，也可以委托代理人提出，采取何种方式由投资人自行决定，行政管理机关不应限定。
    2．提交申请的有关文件。主要文件以及文件的主要内容已由法律规定，应当依照执行，除了必要的具体要求外，不应再有过多的要求；在立法过程中有的意见主张要申请人提供出资的验资证明，经研究认为，个人独资企业是由投资人申请出资，又无最低的出资限额，加上投资人承担无限责任，因此，由他人出具验资证明没有什么实际意义，在设立登记中不必有这样的要求，法律上也不必作这样的规定。
    3．登记机关在法定的时限内依法予以登记，如果设立申请不符合法定条件的，不予登记时则应当书面答复，说明理由。这样规定使登记程序更加规范化，有利于保护申请人的利益，也可促使登记机关慎重处理登记事宜。
    4．发给营业执照。这是标志个人独资企业合法设立的法律文件，也是这个企业依法进入市场，成为合法的市场主体的法律凭证，在取得营业执照前以个人独资企业名义进行经营活动则是不允许的。
    5．设立分支机构或者登记事项发生变更，都应依法办理登记手续，使个人独资企业的活动处于有秩序的行政管理之中。